一片藍寶石基板能切割出多少晶元

⑴ 氫氟酸對藍寶石基板有什麼作用

腐蝕

⑵ LED中的藍寶石襯底起什麼作用

LED藍寶石襯底有許多優點：首先，藍寶石襯底的生產技術成熟、器件質量好；其次，藍寶石的穩定性很好，能夠運用在高溫生長過程中；最後，藍寶石的機械強度高，易於處理和清洗。

藍寶石的硬度非常高，在自然材料中其硬度僅次於金剛石，但是在LED器件的製作過程中卻需要對它進行減薄和切割，其切割精度均以μm級計算，這對於藍寶石襯底切割的工藝要求提出了非常高的考驗。

由於藍寶石的光學穿透帶很寬，從近紫外光到中紅外線都具有很好的透光性。因此被大量用在光學元件、紅外裝置、高強度鐳射鏡片材料及光罩材料上。

它具有高聲速、耐高溫、抗腐蝕、高硬度、高透光性、熔點高(2045°C) 等特點，它是一種相當難加工的材料，因此常被用來作為光電元件的材料。目前超高亮度白/藍光LED的品質取決於氮化鎵磊晶(GaN)的材料品質，而氮化鎵磊晶品質則與所使用的藍寶石基板表面加工品質息息相關。

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藍寶石基板應用種類：廣大外延片廠家使用的藍寶石基片分為三種：

1、C-P1ane藍寶石基板：這是廣大廠家普遍使用的供GaN生長的藍寶石基板面。這主要是因為藍寶石晶體沿C軸生長的工藝成熟、成本相對較低、物化性能穩定，在C面進行磊晶的技術成熟穩定。

2、R-P1ane或M- Plane藍寶石基板：主要用來生長非極性/半極性面GaN外延薄膜，以提高發光效率。通常在藍寶石基板上制備的GaN外延膜是沿c軸生長的，而c軸是GaN的極性軸。

導致GaN基器件有源層量子阱中出現很強的內建電場，發光效率會因此降低，發展非極性面GaN外延，克服這一-物理現象，使發光效率提高。

3、圖案化藍寶石基板(Pattern Sapphire Substrate 簡稱PSS)：以成長(Growth)或蝕刻(Etching)的方式，在藍寶石基板上設計製作出納米級特定規則的微結構圖案藉以控制LED之輸出光形式。

並可同時減少生長在藍寶石基板上GaN之間的差排缺陷，改善磊晶質量，並提升LED內部量子效率、增加光萃取效率。

⑶ LED PSS什麼意思

LED PSS是「圖案來化藍寶石基板」。以源蝕刻(在藍寶石C面乾式蝕刻/濕式蝕刻)的方式,在藍寶石基板上設計製作出微米級或納米級的具有微結構特定規則的圖案,藉以控制LED之輸出光形式(藍寶石基板上的凹凸圖案會產生光散射或折射的效果增加光的取出率),同時GaN薄膜成長於圖案化藍寶石基板上會產生橫向磊晶的效果,減少生長在藍寶石基板上GaN之間的差排缺陷，改善磊晶質量，並提升LED內部量子效率、增加光萃取效率。與成長於一般藍寶石基板的LED相比,亮度增加了70%以上.目前台灣生產圖案化藍寶石有中美矽晶、合晶、兆晶，兆達.藍寶石基板中2/4英寸是成熟產品,價格逐漸穩定,而大尺寸(如6/8英寸)的普通藍寶石基板與2英寸圖案化藍寶石基板處於成長期,價格也較高,其生產商也是主推大尺寸與圖案化藍寶石基板,同時也積極增加產能.目前大陸還沒有廠家能生產出圖案化藍寶石基板.

⑷ 藍寶石基板用於生產LED外延片時，對藍寶石表面粗糙度的要求是多少

表明粗糙值，1和0.3對於外延生長是沒有差別的。因為這個數值不是決定外延生長的關鍵數值。重要的是 TOTAL THICKNESS VARIATION 和 BOW 兩個數值。這2個數值范圍越小越好