一片蓝宝石基板能切割出多少芯片
⑴ 氢氟酸对蓝宝石基板有什么作用
腐蚀
⑵ LED中的蓝宝石衬底起什么作用
LED蓝宝石衬底有许多优点:首先,蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量好;其次,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。
蓝宝石的硬度非常高,在自然材料中其硬度仅次于金刚石,但是在LED器件的制作过程中却需要对它进行减薄和切割,其切割精度均以μm级计算,这对于蓝宝石衬底切割的工艺要求提出了非常高的考验。
由于蓝宝石的光学穿透带很宽,从近紫外光到中红外线都具有很好的透光性。因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上。
它具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高(2045°C) 等特点,它是一种相当难加工的材料,因此常被用来作为光电元件的材料。目前超高亮度白/蓝光LED的品质取决于氮化镓磊晶(GaN)的材料品质,而氮化镓磊晶品质则与所使用的蓝宝石基板表面加工品质息息相关。
(2)一片蓝宝石基板能切割出多少芯片扩展阅读
蓝宝石基板应用种类:广大外延片厂家使用的蓝宝石基片分为三种:
1、C-P1ane蓝宝石基板:这是广大厂家普遍使用的供GaN生长的蓝宝石基板面。这主要是因为蓝宝石晶体沿C轴生长的工艺成熟、成本相对较低、物化性能稳定,在C面进行磊晶的技术成熟稳定。
2、R-P1ane或M- Plane蓝宝石基板:主要用来生长非极性/半极性面GaN外延薄膜,以提高发光效率。通常在蓝宝石基板上制备的GaN外延膜是沿c轴生长的,而c轴是GaN的极性轴。
导致GaN基器件有源层量子阱中出现很强的内建电场,发光效率会因此降低,发展非极性面GaN外延,克服这一-物理现象,使发光效率提高。
3、图案化蓝宝石基板(Pattern Sapphire Substrate 简称PSS):以成长(Growth)或蚀刻(Etching)的方式,在蓝宝石基板上设计制作出纳米级特定规则的微结构图案藉以控制LED之输出光形式。
并可同时减少生长在蓝宝石基板上GaN之间的差排缺陷,改善磊晶质量,并提升LED内部量子效率、增加光萃取效率。
⑶ LED PSS什么意思
LED PSS是“图案来化蓝宝石基板”。以源蚀刻(在蓝宝石C面干式蚀刻/湿式蚀刻)的方式,在蓝宝石基板上设计制作出微米级或纳米级的具有微结构特定规则的图案,藉以控制LED之输出光形式(蓝宝石基板上的凹凸图案会产生光散射或折射的效果增加光的取出率),同时GaN薄膜成长于图案化蓝宝石基板上会产生横向磊晶的效果,减少生长在蓝宝石基板上GaN之间的差排缺陷,改善磊晶质量,并提升LED内部量子效率、增加光萃取效率。与成长于一般蓝宝石基板的LED相比,亮度增加了70%以上.目前台湾生产图案化蓝宝石有中美矽晶、合晶、兆晶,兆达.蓝宝石基板中2/4英寸是成熟产品,价格逐渐稳定,而大尺寸(如6/8英寸)的普通蓝宝石基板与2英寸图案化蓝宝石基板处于成长期,价格也较高,其生产商也是主推大尺寸与图案化蓝宝石基板,同时也积极增加产能.目前大陆还没有厂家能生产出图案化蓝宝石基板.
⑷ 蓝宝石基板用于生产LED外延片时,对蓝宝石表面粗糙度的要求是多少
表明粗糙值,1和0.3对于外延生长是没有差别的。因为这个数值不是决定外延生长的关键数值。重要的是 TOTAL THICKNESS VARIATION 和 BOW 两个数值。这2个数值范围越小越好