真空镀膜机机械泵抽速慢怎么解决
⑴ 真空镀膜机抽气很慢是什么原因啊
很多原因,比如说密封圈没密封好 产品Boss柱有水 刚换完靶材会有这现象
⑵ 真空泵的抽速太低\太慢是因为什么
您好:
真空泵抄抽速太低,太慢的原因袭有:
1,真空泵旋片损坏
2,真空泵轴封损坏
3,真空泵油雾过滤器失效
4,真空泵进气过滤网堵塞
5,真空泵气镇阀的问题
具体的问题还是找一家专业的维修厂家吧!
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⑶ 钟罩式真空镀膜机,预抽和高真空抽气真空计显示都很慢怎么回事,
两个可能来,一个是漏气,一个是泵自排气能力不足
要想分清楚是哪个问题很容易,你只要让机器抽一个晚上,早上的真空能够达到以前的水平,那么漏气就排除了,是泵能力不好导致的。
漏气要检漏,有检漏仪是最好的,没有的话用注射器放酒精,在可能漏气的地方滴几滴,如果真空度有变化,有盖斯勒计的话会有红色火花,就可以确定为漏点。
如果是泵能力不足,要做保养。
⑷ 真空镀膜机抽真空慢是不是机械泵有故障啊
常见抽气慢有几种可能:
漏气
真空室水气过多
泵力不足(泵油封漏气或油不足,可嚐试保养及换油)
实际得看你是粗抽慢或高真空慢来评判
如果粗抽就慢,一般是严重漏气或是泵的问题
高真空的话小漏气或水气过多
⑸ 真空镀膜机粗抽很慢的原因
请详细说明抄,什么设备 什么泵 泵油颜色 原来多长时间 现在多长时间 多长时间开门 一次 开门多久 大气相对湿度等
1、精抽 速度慢不慢?如果不慢 证明精抽部分和真空室不漏气
2、粗抽泵油颜色 是否乳化
3、粗抽管道是否漏气,可采用盲板加规管堵在真空泵的抽气口段 判断2 、3 问题
4、如果2、3没有问题,请考虑真空室内脏污问题 清理干净先
⑹ 真空镀膜机抽高真空慢怎么办
有很多原因,看一下是不是漏了(漏气)、扩散泵有没有反油之类的!还有多久没保养了,得保养一下!佛欣提供本内容
⑺ 真空镀膜机抽气慢
从粗抽开始检来查,如果抽的时间自就长,那就是滑阀泵有问题,或是前面的管道有漏气,如果粗抽没问题就是扩散泵的事了,一般是清理泵腔换掉泵油,不过一般有时有些这样的问题都不是几句话可以讲清楚的,大家都知道如何检漏,可每次遇到的往往都是一点小事情,结果都花了很多的时间才能找到原因!祝你好运了!
⑻ 真空镀膜机精抽太慢的原因
有地方微漏,需检漏。或测漏率确认。
腔体清洁不够
停机时间较长,比较难抽。确认之前的数据对比。
冷pump是否需再生
⑼ 真空镀膜机的低真空抽气慢
我 不知道 你说的来 镀膜机源 是那种 型号 的 ,但是 具体 分析 低真空 抽速慢 有 以下 几点, 第一 罐体 有漏气点, 第二 低真空 泵组 有达不到 功率的泵,第三 真空计 的 零点 满度 需校对 急 规管 检查。一般 这几点 会 影响到 低真空的 数值。下面分析,第一 查漏 的 最好方法 氦气检漏仪,(如果没有条件)可以 用 丙酮 喷洒 连接处 观察 真空度,如真空度 反弹较大 该连接处 有 漏点。 第二 检查真空泵组(如果 镀膜机 有 2个 系统,我们 可以 但系统 运行,比较 2个 系统真空 情况 )如果 一个系统 就要单个 泵 密封 抽气口 连接 真空计 来 测试该 泵 抽率。第三 如果真空计 的 零点 满度 不准 也会影响 真空 数值,须 循环 调试 3次以上,可以 换一个 新的 规管来试一试,换下来的 规管 可以 滴入 少量酒精(无水乙醇)清洁后 可 再次 使用。
⑽ 真空镀膜机抽气慢怎么办
从粗抽开始检查,如果抽的时间就长,那就是滑阀泵有问题,或前面的管道有漏气,如果粗抽没问题就是扩散泵的事了,一般是清理泵腔换掉泵油
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